3D飞点分光干涉仪可对精密零部件的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸实现微纳级测量，为半导体等高精密制造业赋能。 近年来，3D检测技术发展迅速，广泛应用于工业、国防、医疗、农业等领域。根据其是否应用人造光…